3C非接触式球径仪

精密测量球面的曲率半径的光学测量仪器。该仪器的测量原理是基于光学球面的顶点反射和表面反射成像原理而设计的。由于采用精密导轨和精密测长光栅尺,以及非接触式的测量方法,保证了球面曲率半径的微米级测长精度,并避免接触测量所引入的测量误差及表面划伤。

产品系列: 球径仪

产品系列: 3C非接触式球径仪

  • 产品描述
  • 参数说明
  • 精密测量球面的曲率半径的光学测量仪器。该仪器的测量原理是基于光学球面的顶点反射和表面反射成像原理而设计的。由于采用精密导轨和精密测长光栅尺,以及非接触式的测量方法,保证了球面曲率半径的微米级测长精度,并避免接触测量所引入的测量误差及表面划伤。

    仪器特色

    非接触测量 重复性好精度高 操作十分简单

    工作原理

    本仪器是利用自准直显微镜分别瞄准被测球面的球心和顶点表面,经球面反射后分别获得的自准直像的二者距离进行测量的。显微镜测量系统是采用高精度直线导轨移动 , 读数系统采用分辨率高达 0.001mm 高精度直线光栅测量得到的。

     

    测量范围

    曲率半径测量范围: 凸面 R ≤ 30mm

    凹面 R ≥ 25 至 1000 mm

    被测透镜夹持直径: ¢ 5~ ¢ 150 mm

     

    球面半径测量精度

    0~ 200mm 范围内:± 0.003mm ;

    ≥ 200mm 范围为:± 0.008mm ,

    满足样板精度要求: ≤ 0.02%R(R ≥ 50 时 )

     

    瞄准显微镜物镜

    类别 放大倍数 数位孔径 NA 瞄准误差(μ m ) 工作距离( mm ) 测量范围( mm )
    消色差

     

    物镜

    4 X

    0.1

    44

    38.0

    R ≥ 500

    10 X

    0.25

    7

    7.31

    R ≥ 100

    40 X

    0.65

    1

    0.50

    R ≥ 25

     

    仪器读数系统与规格

    ◆采用 1 米计量光栅读数,最小示值: 0.001mm

    ◆电源: 220V

    ◆仪器外形尺寸: 1400*300*590mm

    ◆仪器重量: 50 kg

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